MIKROSYSTEMER MED BEVEGELIGE DELER

SINTEF er først i Europa på å tilby robust småskalaproduksjon av mikrosystemer som inneholder piezoelektriske materialer. Materialforskere oppnår bevegelse ved å bygge inn elementer av slike materialer i mikrosystemer laget med tradisjonell silisiumteknologi. Det piezoelektriske materialet som benyttes, er et keram. Det har egenskapen at det utvider seg når det utsettes for et elektrisk felt, og det produserer en elektrisk spenning om det utsettes for en kraft.

Keramene legges på mikrosystemet som et tynt sjikt, og deretter formes materialet i riktig mønster ved kjemisk etsing. Produsenter kan benytte den nye teknologien til å miniatyrisere eksisterende produkter og utvikle helt nye komponenter.

Det er mange anvendelser for teknologien, for eksempel posisjoneringssystemer, trykk- og str ømningsmålere, gassensorer, energihøsting, akselerometre, mikropumper og ultralydavbildning. SINTEF er i ferd med å starte opp en rekke nye industriprosjekter basert på prosessen. Bildet viser en teststruktur som inneholder 42 piezoelektriske mikrosystemer av ulik type og st ørrelse